英诺赛科科技有限公司 ——先进半导体关键生产设备电压暂降保护

项目概述:

英诺赛科(珠海)科技有限公司于2015年12月创办,集合了数十名国内外精英,是第三代半导体电力电子器件研发与生产的高科技企业。公司建成中国首条8英寸硅基氮化镓外延与芯片大规模量产生产线,此生产线有大量敏感设备,对电能质量要求极高。该产品线一直受电网电压暂降现象困扰,电压暂降导致光刻环节芯片电路出现偏差、晶体质量下降、刻蚀不均匀甚至整条生产线的设备停机,“30V-650V氮化镓功率与5G射频器件”产品不良率上升,大幅增加生产成本,降低经济效益,甚至影响企业的市场声誉和竞争力,造成极大的损失。

服务内容:

威尔扬的WY-DVR装置,保护的即为上述产品的核心生产设备,包括:DPS Metal、DPS Poly、Etch supere等。电压暂降保护装置实时监测供电电压的状态,当检测到电压出现异常时,在1ms内通过Buck-Boost电路以及逆变器,快速切换到超级电容供电,从而维持负载侧供电电压恒定。稳定的生产条件有利于生产出性能稳定、质量可靠的8英寸硅基氮化镓芯片,提升企业的市场竞争力,威尔扬的WY-DVR设备每年帮助客户多次避免电压暂降事件导致的生产损失。第13页-47(1) (1).PNG